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    半導體材料氫氟酸以及氫氟酸廢液廢氣焚燒爐

    半導體材料氫氟酸以及氫氟酸廢液廢氣焚燒爐

    分類:
    行業資訊
    作者:
    江蘇大鴻環保設備有限公司
    來源:
    大鴻環保
    2021/04/19 15:40
    瀏覽量

    高純度氟化氫即電子級氫氟酸,主要用于芯片、液晶面板等行業的清洗、蝕刻,是微電子行業制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一 。根據用途的不同,電子級氫氟酸被分為EL、UP、UPS、UPSS、UPSSS級別,其中UPSS、UPSSS是高端半導體級別。氫氟酸需求增長潛力最大的領域是電子級氫氟酸,電子級氫氟酸主要用于去除氧化物,是半導體制作過程中應用最多的電子化學品之一。電子級氫氟酸主要運用在集成電路、太陽能光伏和液晶顯示屏等領域,其中第一大應用市場是集成電路領域。目前日本掌控了全球接近90%的高品質電子級氫氟酸產能,占據絕對領先地位。國內電子級氫氟酸生產廠家有十家左右,現有產能9萬噸左右,但國內能達到半導體所用UPSS級別的企業并不多。 

           據媒體報道,由于日本的半導體和顯示材料出口限制。由于氟化氫的腐蝕性極強,無法長期保存,韓國企業一直是小批量進口。目前三星電子的氟化氫存庫可能僅僅還能維持幾周時間。據業內推測,目前三星電子的氟化氫存庫可能僅僅還能維持幾周時間,其他韓國半導體企業也不容樂觀。半導體原材料在投入量產前需經過1-6個月左右的測試,特別是氟化氫的純度對半導體產品的品質影響極大,短期內其他產品很難立即填補日產氟化氫空缺。
     

    其實氟化氫更為人所熟知的大概就是腐蝕玻璃了,所以要用塑料容器來盛裝它,《絕命毒師》里也常用氫氟酸來處理尸體。氫氟酸能夠溶解很多其他酸都不能溶解的玻璃(二氧化硅),生成氣態的四氟化硅 

    反應方程式如下:SiO2(s) + 4 HF(aq) → SiF4(g) + 2H2O(l)

     

    氟化氫(hydrogen fluoride),化學式HF,是由氟元素與氫元素組成的二元化合物。它是無色有刺激性氣味的氣體 。氟化氫是一種一元弱酸。氟化氫及其水溶液均有毒性,容易使骨骼、牙齒畸形,氫氟酸可以透過皮膚被黏膜、呼吸道及腸胃道吸收,中毒后應立即應急處理,并送至就醫。與五氟化銻混合后生成氟銻酸(HSbF6)。

     

    化學性質

    1.具有很強的腐蝕性,能侵蝕玻璃和硅酸鹽而生成氣態的四氟化硅,但不腐蝕聚乙烯、鉛和白金;

    2.極易揮發,置于空氣中即冒白霧,溶于水時激烈放熱而成氫氟酸;

    3.與金屬鹽、氧化物、氫氧化物作用生成氟化物;

    4.能與普通金屬發生反應,放出氫氣而與空氣形成爆炸性混合物;

    5.氟化氫對熱穩定,加熱到1000℃僅稍有分解;

    6.與硅和硅化合物反應生成氣態的四氟化硅:

    SiO2(s)+ 4 HF(aq)→ SiF4(g) + 2H2O(l)

    生成的SiF4可以繼續和過量的HF作用,生成氟硅酸:SiF4(g)+2HF(aq)=H2[SiF6](aq),氟硅酸是一種二元強酸;

    7.氫氟酸在水溶液中有兩個平衡:

    1. HF=H+ F- k1=7.2*10-4,

    2. HF+F-=HF2- k2=5.2

    此時隨著濃度增大(大于5mol),HF已經是 相當強的強酸了。

    8、氫氟酸能形成酸式鹽,氫氟酸本是一元酸,但能制得一系列的酸式鹽如NaHF2、KHF2、NH4HF2等 ,這種性質是其他三種氫鹵酸所不具有的。

     

    用途

    1、主要用作含氟化合物的原料,也用于氟化鋁和冰晶石的制造,半導體表面刻蝕及用作烷基化的催化劑。

    2、在電子工業中用作強酸性腐蝕劑,可與硝酸、乙酸、氨水、雙氧水配合使用。

    3、用作分析試劑,也用于高純氟化物的制備。是氟鹽、氟致冷劑、氟塑料、氟橡膠、氟醫藥及農藥等所必需的氟來源。

    4、是生產冷凍劑“氟里昂”、含氟樹脂、有機氟化物和氟的原料。在化工生產中可用作烷基化、聚合、縮合、異構化等有機合成的催化劑。還用于開采某些礦床時腐蝕地層,以及稀土元素、放射性元素的提取。在原子能工業和核武器生產中是制造六氟化鈾的原料,也是生產火箭燃料和添加劑的原料,還可用于腐蝕玻璃和浸漬木材等。

    5、用于有機或無機氟化物的制造,如氟碳化合物、氟化鈉、氟化鋁、六氟化鈾和冰晶石等。也用于不銹鋼、非鐵金屬酸洗,玻璃儀表刻度、玻璃器皿和鏡子刻花、刻字,以及玻璃器皿拋光、磨砂燈泡和一般燈泡處理、金屬石墨乳除硅提純、金屬鑄件除砂、石墨灰分的去除、半導體(鍺、硅)的制造。也用作染料合成。及其他有機合成的催化劑。還用于電鍍、試劑、發酵、陶瓷處理以及含氟樹脂和阻燃劑的制造等。

    6、用于刻蝕玻璃,酸洗金屬,制無機類氟鹽產品及化學試劑。

    7、用于原子能工業、制元素氟、氟化物,也可作催化劑、氟化劑等用于有機或無機氟化物的制造,也用于不銹鋼、非鐵金屬酸洗、玻璃器皿磨砂和酸洗、磨砂燈泡的處理等。

     

    氫氟酸可是一點兒也不輕浮啊。

    CLEANFLAM為氫氟酸行業設計、制造、安裝,氫氟酸廢液廢氣焚燒爐。

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